⚙️ Yarı İletken Endüstrisi Çözümleri 

Yarı iletken teknolojileri; nanometre düzeyinde hassasiyet, ultra yüksek vakum ortamı ve kusursuz proses kontrolü gerektirir. An-ka Analiz olarak, Pfeiffer Vacuum’un ileri düzey vakum teknolojileriyle, plazma proseslerinden ince film kaplamaya, metrolojiden yüksek sıcaklık fırınlarına kadar, yarı iletken üretim süreçlerine uçtan uca çözümler sunuyoruz.

🌫️ Plazma (PECVD) ve İnce Film Kaplama (PVD)

Plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) ve fiziksel buhar biriktirme (PVD) süreçlerinde; düşük basınç, partikülsüz ortam ve kararlı vakum kritik öneme sahiptir. Katman homojenliği ve yüzey özelliklerinin kontrolü için güvenilir vakum sistemleri gerekir.

📌 Çözümlerimiz:

  • Pfeiffer Vacuum HiPace® türbomoleküler pompalar: UHV (ultra high vacuum) düzeyine hızlı erişim

  • OktaLine Roots blower sistemleri: yüksek pompalama kapasitesi ile proses sürekliliği

  • HiScroll yağsız scroll pompalar: temiz, titreşimsiz ön vakum oluşturma

  • Proses gazı geri kazanımı ve kontrol sistemleri

📌 Kullanım Alanları:

  • Si, SiN, SiO2, TiN, AlN gibi malzeme kaplamaları

  • Güneş paneli üretimi ve optoelektronik film katmanları

  • Mikroçip üretim hatlarında kaplama modülleri

🔥 Yarıiletken Üretim Fırınları ve Difüzyon Sistemleri

Yüksek sıcaklıkta gerçekleşen oksidasyon, difüzyon, implantasyon sonrası ısıl işlem gibi proseslerde vakum seviyesi ve gaz ortamının stabilitesi hayati önem taşır.

📌 Çözümlerimiz:

  • Pfeiffer Vacuum Magnetically levitated turbopumps: partikülsüz ortamda uzun ömürlü kullanım

  • Yüksek sıcaklığa dayanıklı görsel vakum göstergeleri ve proses sensörleri

  • Otomasyon uyumlu vakum kontrolörleri ve valf sistemleri

📌 Kullanım Alanları:

  • Termal difüzyon fırınları (boron, fosfor doping)

  • RTP (Rapid Thermal Processing) sistemleri

  • İyon implantasyon sonrası fırınlama ve temizleme prosesleri

🔍 Metroloji, Görüntüleme ve İşleme Süreçleri

Yarı iletken üretiminde karakterizasyon, hat tespiti ve yüzey analizleri; optik ve elektron mikroskobu gibi ileri görüntüleme sistemleriyle gerçekleştirilir. Bu sistemlerin çalışabilmesi için vibrasyonsuz, temiz ve stabil bir vakum ortamı gerekir.

📌 Çözümlerimiz:

  • Pfeiffer Vacuum üç aşamalı vakum sistemleri (Scroll + Roots + Turbo) ile tam kontrollü vakum zinciri

  • Partikül içermeyen dry pumping sistemleri

  • Görüntüleme sistemlerine entegre gaz analizörleri (RGA) ve kalıntı tespiti çözümleri

📌 Kullanım Alanları:

  • SEM, TEM, AFM gibi mikroskopi sistemleri

  • Wafer yüzey metrolojisi ve kaplama kalınlığı kontrolü

  • Proses odaklı inline analiz çözümleri

🎯 An-ka Analiz & Pfeiffer Vacuum ile Avantajlarınız:

  • UHV ve HV düzeyinde optimize çözümler

  • Partikül kontrolü ve yağsız vakum sistemleri

  • Temiz oda uyumlu komponentler ve aksesuarlar

  • Türkiye genelinde uygulama mühendisliği, kurulum ve eğitim desteği

Yarı iletken üretiminin her aşamasında, yüksek verim, düşük hata payı ve sürdürülebilirlik için An-ka Analiz ve Pfeiffer Vacuum yanınızda.