Yarı iletken teknolojileri; nanometre düzeyinde hassasiyet, ultra yüksek vakum ortamı ve kusursuz proses kontrolü gerektirir. An-ka Analiz olarak, Pfeiffer Vacuum’un ileri düzey vakum teknolojileriyle, plazma proseslerinden ince film kaplamaya, metrolojiden yüksek sıcaklık fırınlarına kadar, yarı iletken üretim süreçlerine uçtan uca çözümler sunuyoruz.
Plazma destekli kimyasal buhar biriktirme (PECVD) ve fiziksel buhar biriktirme (PVD) süreçlerinde; düşük basınç, partikülsüz ortam ve kararlı vakum kritik öneme sahiptir. Katman homojenliği ve yüzey özelliklerinin kontrolü için güvenilir vakum sistemleri gerekir.
📌 Çözümlerimiz:
Pfeiffer Vacuum HiPace® türbomoleküler pompalar: UHV (ultra high vacuum) düzeyine hızlı erişim
OktaLine Roots blower sistemleri: yüksek pompalama kapasitesi ile proses sürekliliği
HiScroll yağsız scroll pompalar: temiz, titreşimsiz ön vakum oluşturma
Proses gazı geri kazanımı ve kontrol sistemleri
📌 Kullanım Alanları:
Si, SiN, SiO2, TiN, AlN gibi malzeme kaplamaları
Güneş paneli üretimi ve optoelektronik film katmanları
Mikroçip üretim hatlarında kaplama modülleri
Yüksek sıcaklıkta gerçekleşen oksidasyon, difüzyon, implantasyon sonrası ısıl işlem gibi proseslerde vakum seviyesi ve gaz ortamının stabilitesi hayati önem taşır.
📌 Çözümlerimiz:
Pfeiffer Vacuum Magnetically levitated turbopumps: partikülsüz ortamda uzun ömürlü kullanım
Yüksek sıcaklığa dayanıklı görsel vakum göstergeleri ve proses sensörleri
Otomasyon uyumlu vakum kontrolörleri ve valf sistemleri
📌 Kullanım Alanları:
Termal difüzyon fırınları (boron, fosfor doping)
RTP (Rapid Thermal Processing) sistemleri
İyon implantasyon sonrası fırınlama ve temizleme prosesleri
Yarı iletken üretiminde karakterizasyon, hat tespiti ve yüzey analizleri; optik ve elektron mikroskobu gibi ileri görüntüleme sistemleriyle gerçekleştirilir. Bu sistemlerin çalışabilmesi için vibrasyonsuz, temiz ve stabil bir vakum ortamı gerekir.
📌 Çözümlerimiz:
Pfeiffer Vacuum üç aşamalı vakum sistemleri (Scroll + Roots + Turbo) ile tam kontrollü vakum zinciri
Partikül içermeyen dry pumping sistemleri
Görüntüleme sistemlerine entegre gaz analizörleri (RGA) ve kalıntı tespiti çözümleri
📌 Kullanım Alanları:
SEM, TEM, AFM gibi mikroskopi sistemleri
Wafer yüzey metrolojisi ve kaplama kalınlığı kontrolü
Proses odaklı inline analiz çözümleri
UHV ve HV düzeyinde optimize çözümler
Partikül kontrolü ve yağsız vakum sistemleri
Temiz oda uyumlu komponentler ve aksesuarlar
Türkiye genelinde uygulama mühendisliği, kurulum ve eğitim desteği
Yarı iletken üretiminin her aşamasında, yüksek verim, düşük hata payı ve sürdürülebilirlik için An-ka Analiz ve Pfeiffer Vacuum yanınızda.