PCR 280, hem Pirani hem de kapasitif (capacitance) basınç ölçüm teknolojilerini bir arada kullanan gelişmiş bir aktif vakum transmitteridir.
Bu hibrit yapı sayesinde cihaz, hem düşük basınç bölgelerinde yüksek hassasiyet hem de atmosfer yakınındaki basınçlarda yüksek doğruluk sağlar.
Toplam ölçüm aralığı 5×10⁻⁵ – 1.5×10³ hPa olup, derin vakumdan pozitif basınca yakın aralıklara kadar geniş bir kapsam sunar.
Tungsten filament, metal sızdırmaz gövde, DN16 ISO-KF bağlantı flanşı ve yüksek tekrarlanabilirlik değerleri ile hassas vakum uygulamaları için optimize edilmiştir.
Düşük güç tüketimi (2.5 W), geniş voltaj aralığı (15–30 V DC) ve 100 metre kablo desteği ile laboratuvar, endüstriyel proses ve Ar-Ge altyapılarına kolayca entegre edilebilir.
|
Özellik |
Değer |
|---|---|
|
Çalışma Sıcaklığı |
10 – 50 °C |
|
Bake-Out Sıcaklığı |
≤ 80 °C |
|
Bağlantı Flanşı |
DN 16 ISO-KF |
|
Feedthrough |
Cam |
|
Filament |
Tungsten |
|
Flanş Malzemesi |
Paslanmaz çelik |
|
Giriş Voltajı |
15 – 30 V DC |
|
Ölçüm Yöntemi |
Pirani + Kapasitif |
|
Ölçüm Aralığı |
5×10⁻⁵ – 1.5×10³ hPa |
|
Ölçüm Doğruluğu – Aralık 1 |
%50 (5×10⁻⁴ – 1×10⁻³ hPa) |
|
Ölçüm Doğruluğu – Aralık 2 |
%15 (1×10⁻³ – 1×10² hPa) |
|
Ölçüm Doğruluğu – Aralık 3 |
%5 (1×10² – 9.5×10² hPa) |
|
Ölçüm Doğruluğu – Aralık 4 |
%2.5 (9.5×10² – 1.05×10³ hPa) |
|
Çıkış Sinyali (Ölçüm Aralığı) |
1.2 – 8.68 V |
|
Minimum Yük (Load) |
10 kΩ |
|
Tekrarlanabilirlik |
%2 (1×10⁻³ – 1.1×10³ hPa) |
|
Güç Tüketimi |
2.5 W |
|
Maksimum Basınç |
5×10³ hPa |
|
Sızdırmazlık |
Metal |
|
Özel Özellik |
Metal sızdırmaz, paslanmaz çelik gövde |
|
Volume |
4.7 cm³ |
|
Ağırlık |
0.95 kg |
|
Kablo Uzunluğu (Max.) |
100 m |
Genel vakum deney düzenekleri
Orta ve yüksek hassasiyetli basınç ölçümleri
Kalibrasyon hatları
Endüstriyel vakum hatlarında basınç izleme
Proses kontrol sistemleri
Vakum pompalarının performans değerlendirmesi
PVD / CVD kaplama sistemlerinde sürekli basınç ölçümü
İnce film üretim prosesleri
Metal, cam ve optik kaplama hatları
Plasma sistemleri
Vakum modülleri ve wafer işleme odaları
Düşük basınçlı prosesler
Sinterleme, brazing ve vakumlu ısıtma sistemleri
Proses değişkenlerinin kontrolü
Hibrit sensör teknolojisi: Pirani + kapasitif → geniş ve doğrusal ölçüm aralığı
5×10⁻⁵ – 1.5×10³ hPa arasında tek cihazla yüksek hassasiyet
Yüksek doğruluk: %2.5’e kadar çıkabilen hassasiyet
Tam metal sızdırmaz gövde → kimyasal ve mekanik dayanım
DN 16 ISO-KF standart uyumluluk
Düşük güç tüketimi (2.5 W)
100 m kablo uzunluğu ile geniş tesislerde kullanım
Hassas kontrol gerektiren prosesler için ideal
Uzun ömürlü tungsten filament
